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DR. HOERLEIN & PARTNER的XUV光譜儀提供校準的平場光譜信息，只用一個光柵就可覆蓋5nm-80nm波段。對于10-80nm范圍，可以不用狹縫，以便在很大的距離內收集到更多的激光。模塊化的設計可以用來匹配不同的系統結構。集成了狹縫和濾波片固定裝置，同時，光柵可以用電機控制。
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DR. HOERLEIN & PARTNER的XUV光譜儀提供校準的平場光譜信息，只用一個光柵就可覆蓋5nm-80nm波段。對于10-80nm范圍，可以不用狹縫，以便在很大的距離內收集到更多的激光。模塊化的設計可以用來匹配不同的系統結構。集成了狹縫和濾波片固定裝置，同時，光柵可以用電機控制。
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波長（nm） |
5～20 |
10～60 |
25～80 |
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工作模式 |
狹縫 |
無狹縫 |
無狹縫 |
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光源距離(m) |
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0.4～0.6 |
0.5～1.5 |
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平場尺寸（mm） |
25.4 |
50 |
50 |
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色散（nm/mm） |
0.5～0.7 |
0.7～1.1 |
0.9～1.3 |
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分辨率（nm） |
≈0.06 |
≈0.09 |
0.11 |
*波長范圍1-15nm需要另一塊光柵
*也可以定制其他結構來匹配不同的光源距離
下面的圖像可以證明XUV光譜儀的測量能量。它展現的是濾波后的單發飛秒激光脈沖的高次諧波譜。上面的圖顯示了x-ray CCD探測到的原始影像，而下面的圖顯示的是柱條疊加后的諧波圖譜。這個過程都由XUV光譜儀自動完成
平場入射光柵光譜
單光柵波長范圍覆蓋5-80nm
也可以選擇1-5nm光譜
三種不同的幾何結構
不同的探測器選擇：X-ray CCD相機或MCP錐形光纖
工作氣壓<10-6mbar,也可以提供無油氣泵的獨立真空系統
